Spin Coater for Electro-Beam and Photo Lithography Materials
日製旋轉塗佈機

● MIKASA獨家的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉,且旋轉數精度全實現了
±1rpm的高精度
● 可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec),因此可輕易地控制膜厚。
● 可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)
Spin Coater for Electro-Beam and Photo Lithography Materials
日製旋轉塗佈機

● MIKASA獨家的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉,且旋轉數精度全實現了
±1rpm的高精度
● 可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec),因此可輕易地控制膜厚。
● 可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)
Contents are base on principal’s product TDS
內容取材自原廠產品技術資料